質(zhì)量流量控制器的工作原理是利用熱傳導(dǎo)原理來(lái)計(jì)算流量，由氣體通過(guò)的測(cè)量段內(nèi)有兩個(gè)熱阻元件，其中一個(gè)檢測(cè)溫度，另一個(gè)作為加熱器。這兩個(gè)元件和流量計(jì)內(nèi)的電路組成一個(gè)溫控系統(tǒng)，該溫控系統(tǒng)保持溫度檢測(cè)元件和加熱器之間的溫度值恒定。當(dāng)氣體流速增加，冷卻效應(yīng)越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質(zhì)量流量，即供給電流與氣體質(zhì)量流量有一對(duì)應(yīng)的函數(shù)關(guān)系，來(lái)反映氣體的流量。由氣體流動(dòng)產(chǎn)生的溫度與恒定傳感器溫度的恒定溫度差，確定加熱功率，根據(jù)熱效應(yīng)定律，得出加熱功率，溫度差與質(zhì)量流量的公式，從而計(jì)算流量。另外由于氣體的體積會(huì)受溫度、壓力等參數(shù)的影響，用體積流量表示流量大小時(shí)需給出介質(zhì)的參數(shù)。如果介質(zhì)參數(shù)不斷變化，會(huì)造檢測(cè)失真。